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接合方法以及接合装置.pdfVIP

接合方法以及接合装置.pdf

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    本发明的接合方法包括：第一接合阶段，通过解除第一基板的保持接合第一基板和第二基板从而形成第一层叠体；以及第二接合阶段，通过将已接合的第一基板以及第二基板中的被薄化的一方的基板和第三基板接合从而形成第二层叠体，在第一基板被薄化的情况下，在第二接合阶段解除第三基板的保持，在第二基板被薄化的情况下，在第二接合阶段解除第一层叠体的保持。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112424908 A (43)申请公布日 2021.02.26 (21)申请号 201980045550.6 (74)专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限

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