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本发明提升了晶体膜的质量。于面板的制造方法当中,通过经由可透射激光的透光性部件4,将激光照射至非晶硅膜3A,以形成多晶硅膜。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112424910 A
(43)申请公布日 2021.02.26
(21)申请号 201980046171.9 (74)专利代理机构 北京国昊天诚知识产权代理
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