基板搬送装置及具备基板搬送装置的基板处理装置.pdfVIP

基板搬送装置及具备基板搬送装置的基板处理装置.pdf

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提供搬送四边形的基板的自动化装置。根据一实施方式,提供用于搬送四边形的基板的基板搬送装置,该基板搬送装置具有:多个搬送辊,被构成为支承基板的下表面;多个辊轴,安装有所述多个搬送辊;马达,用于使所述多个辊轴旋转;以及推动器,用于提升所述多个搬送辊上的基板,以使所述多个搬送辊上的基板远离所述多个搬送辊,所述推动器具有平台,能够在所述多个搬送辊之间的空隙通过。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112424924 A (43)申请公布日 2021.02.26 (21)申请号 201980046589.X 真继阿沙葵 南条贵弘 青山英治 

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