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一种多孔透明导电膜的制备方法.pdfVIP

一种多孔透明导电膜的制备方法.pdf

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    本发明是一种多孔透明导电复合膜的制备方法，该方法基于现有三明治结构透明导电膜优异的光电性能基础，针对低电阻进一步高透光的要求，利用磁控溅射制备方法和膜层后处理方法，通过调控介质层和金属层中微纳级孔洞的调控和膜层的蠕变强化来制备低电阻高透光的透明导电膜层。在保持原有三明治结构透明导电膜电阻不变的情况下，可进一步提高透明导电氧化物膜层的透光。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112410743 B (45)授权公告日 2022.08.23 (21)申请号 202011227164.X C23C 14/06 (2006.01)

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