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一种硅片加工用石英舟.pdfVIP

一种硅片加工用石英舟.pdf

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    本发明涉及硅片扩散技术领域，且公开了一种硅片加工用石英舟，包括挡板，所述挡板的数量为两个，两个所述挡板的外表面均固定安装有舟挑架，两个所述挡板内表面的顶部之间固定连接有上支撑杆，所述上支撑杆的顶面开设有大卡槽和小卡槽，两个所述挡板内表面的底部之间固定连接有下支撑杆，所述下支撑杆的顶部开设有大槽和小槽。该硅片加工用石英舟，通过在硅片上下支撑杆的开设两种槽长，两种槽交替分布，在插入方形硅片时，两种槽有利于擦作人方便辨识，避免误插错，此外由于两种槽长适应两种尺寸硅片，大硅片会发生因错位槽长小无法插入，

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112397425 A (43)申请公布日 2021.02.23 (21)申请号 20191

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