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本发明提供了一种端面装配微小间隙非接触测量装置的测量方法，包括以下步骤：打开电源，并使位移台和光谱传感器参数初始化；通过调节旋钮调节升降平台，使光谱传感器的光斑位于间隙周围；通过平板主机设置位移台循环扫查位移坐标、移动速度和光谱采样频率，使光谱传感器能对间隙进行循环扫查；光谱传感器开始采集数据，并将数据回传给平板主机；平板主机检测回传数据是否超出量程；统计超出量程的数据点个数C；得出间隙值＝C*V/F。采用本方案，利用光谱共焦传感器进行测量，光谱共焦位移传感器是基于波长位移调制的非接触式位移传感
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112378340 A
(43)申请公布日 2021.02.19
(21)申请号 202011389190.2
(22)申请日 2020.12.02
(71)申请人 中国工程物理研究院机械制造工艺
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