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卡盘及承载晶圆的方法.pdfVIP

卡盘及承载晶圆的方法.pdf

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    该发明涉及一种卡盘及承载晶圆的方法，其中所述卡盘包括：晶圆载台，用于水平放置晶圆，包括至少两个子载台，且所有所述子载台承载同一晶圆；驱动器，数目与所述子载台的数目一致，每一驱动器对应连接至一子载台，用于分别驱动所述子载台在竖直方向上运动，使所述晶圆保持水平状态。本发明的卡盘及承载晶圆的方法中，各个子载台可以分别被驱动，因此放置到所述晶圆载台的晶圆与所述晶圆载台的各区域的贴合程度可控。在使用过程中，用户可以根据需要使放置到晶圆载台的晶圆与所述晶圆载台的特定区域贴合，以适应不同的使用需求。在需要保证

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112397437 A (43)申请公布日 2021.02.23 (21)申请号 20191

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