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本发明揭示了一种退火腔，包括进气装置与排气装置，排气装置包括晶圆输送口和能移动的隔离门板，隔离门板能打开或覆盖整个晶圆输送口，排气装置还包括进气条与排气板，排气板位于排气装置底面，进气条位于排气板上方，排气板上均匀分布有多个排气孔。本发明所提出的一种退火腔利用在退火腔的晶圆输送口安装能移动的隔离门板，并辅助进气条形成氮封，隔绝外部空气进入退火腔内，解决了退火过程中外部空气对退火效果的影响，保持退火腔内气流的稳定性，从而改善退火效果。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112420547 A
(43)申请公布日 2021.02.26
(21)申请号 201910784396.6
(22)申请日 2019.08.23
(71)申请人 盛美半导体设备(上海)股份有限公
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