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本发明涉及微流体机械技术领域，具体是集成于PCB上的压电致动微驱动器的制备方法，所述制备方法包括对PCB泵体进行清洗，去除泵体上的杂质；对泵体的上下表面进行图形化处理；在泵体上刻蚀有沉孔，并将该沉孔的底部进行截切打磨，形成泵腔；从泵腔的截切面向下刻蚀有两个通孔，分别作为进液口和出液口；再次对开凿后的泵体进行清洗，并保持干燥；在位于泵腔外沿的泵体表面固定有一层圆环形焊盘；在圆盘形焊盘上方焊接有相应的圆盘形压电单晶执行器；将压电单晶执行器的负极与系统电源地相连，将压电陶瓷表面通过导线引出与系统电源正
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112420916 B
(45)授权公告日 2022.07.08
(21)申请号 202011323002.6 (56)对比文件
(22)申请日 2020.11.23
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