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本发明提供探针装置和探针卡的预冷却方法。是具有多个检查室的探针装置,多个检查室各自包括探针卡、探针卡保持部件、卡盘顶部、密封机构、温度调节部和供给部。探针卡具有多个探针。探针卡保持部件保持探针卡。卡盘顶部能够载置晶片。密封机构在探针卡保持部件与卡盘顶部之间形成密闭空间。温度调节部对卡盘顶部进行温度调节。供给部对密闭空间供给干燥气体。探针装置在卡盘顶部没有载置晶片的状态下,用干燥空气对密闭空间进行了吹扫后,利用由温度调节部进行了温度调节的卡盘顶部的冷量,进行探针卡的预冷却。本发明能够抑制发生结露并
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112394207 A
(43)申请公布日 2021.02.23
(21)申请号 202010781653.3
(22)申请日 2020.08.06
(30)优先权数据
2019-1489
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