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本发明涉及一种气体激光的监控装置，根据本发明，其与气体激光生成室侧连接，以使从所述气体激光生成室侧接收所流入的所述异种气体，且监控容纳在所述气体激光发光腔室的所述反应空间中的所述异种气体的成分，因此在气体激光生成室内引入或产生不必要的物质时能够迅速掌握该情况并采取对应措施。因此，公开一种能够确保激光束的稳定性的技术。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112424696 A
(43)申请公布日 2021.02.26
(21)申请号 201980048019.4 (74)专利代理机构 北京青松知识产权代理事务
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