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本发明公开了一种NF3气体检测预处理炉,包括外壳,外壳一侧设置待测气体NF3的气嘴进气口,和转化气体NO2的气嘴出气口,另一侧安装PCBA、PCB材质环氧玻璃布层压板F4、单面布元器件;设置包含NF3气体进气口和NO2出气口的外壳,在进气口上游安装稳流阀,保证NF3进气流量稳定在200~250ml/min内;将反应质加热并恒定保持在设计温度的恒温内腔,内部安装有陶瓷加热元件和测温PT100热电阻,两者与恒温内腔间通过无机粘结剂气密封接。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112415134 A
(43)申请公布日 2021.02.26
(21)申请号 202011088574.0
(22)申请日 2020.10.13
(71)申请人 南通峥麒环保科技有限公司
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