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提供测量装置、被加工物的检查方法以及图像数据的显示方法，通过记录被加工物整体的图像数据，在以后需要时能够确认加工结果。测量装置测量加工后的被测量物，具有：被测量物保持机构，其保持被测量物；拍摄机构，其拍摄被测量物而形成图像数据；移动机构，其使拍摄机构相对于被测量物保持机构相对移动；控制器，其具有存储图像数据的存储部；显示监视器，其显示图像数据，显示监视器具有：位置指定图像显示区域，其显示基于利用移动机构使拍摄机构移动并按照各小区段的顺序依次进行拍摄而得到的图像数据而形成的位置指定图像；和放大图像
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112394032 A
(43)申请公布日 2021.02.23
(21)申请号 202010829862.0
(22)申请日 2020.08.18
(30)优先权数据
2019-1497
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