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一种多梁结构组合的射频微机电系统谐振器及应用,该多梁结构组合的射频微机电系统谐振器包括机电转换梁单元,其为所述谐振器输入端和输出端的换能组件;能量传输梁,其为所述机电转换梁单元的连接结构;电极,其为施加驱动激励;介质层,为机电转换梁单元与电极之间的间隙层;基座,起支撑所述谐振器的作用;以及支撑结构,实现所述谐振器的悬空。本发明的多种梁结构通过频率匹配实现模态耦合,畸变程度小,可保持高Q值,实现多种谐振频率的灵活设置,兼具良好的抗冲击、抗过载性能,可用于构建多模式、多频带、可重构的先进无线通信系统
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112422097 A
(43)申请公布日
2021.02.26
(21)申请号 20191
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