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本发明公开了一种卵圆形微波等离子体金刚石膜沉积装置,谐振腔体为卵圆形,波导和短路活塞设置在谐振腔体的顶部,同轴天线贯穿波导和谐振腔体的顶端,通过同轴天线将微波能量耦合进谐振腔体,同轴天线可上下移动;边缘沉积台设置在谐振腔体的中下部,可上下移动,中心沉积台设置在边缘沉积台的中间,可上下移动;石英钟罩设置在边缘沉积台,罩在中心沉积台上;进气管穿过谐振腔体的侧面和石英钟罩的顶部将气体送入石英钟罩;出气口设置在边缘沉积台,在中心沉积台的旁边。本发明有效解决了现有技术中存在的微波输入功率较低、缺少完善的调
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112410751 B
(45)授权公告日 2022.04.22
(21)申请号 202011189925.7 审查员 彭梅香
(22)申请日 2020.10.30
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