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2023-05-29 发布于四川
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一种团簇式设备控制方法及装置及存储介质.pdf

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本发明公开了一种团簇式设备控制方法及装置及存储介质，属于团簇式设备控制技术领域，包括：于工件组进入团簇式设备时，获取工件组对应的标识信息；根据预设规则和标识信息匹配工件组待执行的指令序列；团簇式设备根据指令序列，工作腔室当前的工作状态以及工件组的优先级，将工件组传送至工作腔室以执行预定工艺，于所有指令执行完毕后，将工件组传送出团簇式设备；有益效果是：通过将各个工艺流程分解成指令序列，进而使得每个工艺指令可以被单独编辑修改和执行，提高了工艺的灵活性，提高了产品良率，提高了设备的生产效率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112410765 A (43)申请公布日 2021.02.26 (21)申请号 202011225800.5 (22)申请日 2020.11.05 (71)申请人宣城

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