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光学感测滤光器及其形成方法.pdfVIP

光学感测滤光器及其形成方法.pdf

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    本发明提供了一种光学感测滤光器及其形成方法。此光学感测滤光器包括具有主动区以及感测区的基板、设置在基板的感测区中的光电二极管、以及设置在光电二极管之上的滤光片结构。此滤光片结构包括设置在光电二极管之上的第一滤光片堆迭以及设置在第一滤光片堆迭之上的第二滤光片堆迭。第一滤光片堆迭包括设置在光电二极管之上的第一黏着层、设置在第一黏着层之上的第一金属层、以及设置在第一金属层之上的第一绝缘层。第二滤光片堆迭包括设置在第一绝缘层之上的第二黏着层、设置在第二黏着层之上的第二金属层、以及设置在第二金属层之上的第

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112397528 A (43)申请公布日 2021.02.23 (21)申请号 20191

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