感光性树脂组合物、具有图案的树脂膜的制造方法、具有图案的树脂膜、及半导体电路基板.pdfVIP

感光性树脂组合物、具有图案的树脂膜的制造方法、具有图案的树脂膜、及半导体电路基板.pdf

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一种感光性树脂组合物,含有聚合物(A)、交联剂(B)及光阳离子产生剂(C),所述聚合物(A)具有下述式(a1)所表示的末端基、以及下述式(a2)所表示的重复结构单元。[式(a1)及式(a2)中,Y表示通过利用光照射而由所述光阳离子产生剂(C)产生的阳离子的作用,与所述交联剂(B)反应的反应性基;X分别独立地表示氧原子、硫原子、酯键、酰胺键或‑SO2‑;R1表示二价烃基、或在所述二价烃基中导入了除所述反应性基及杂环以外的官能基的二价基;R2表示二价烃基、在所述二价烃基中导入了除所述反应性基及杂环以

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112424692 A (43)申请公布日 2021.02.26 (21)申请号 201980047806.7 (74)专利代理机构 北京同立钧成知识产权代理

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