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本发明提供了一种双粒径非球形二氧化硅、制备方法及其制备的抛光浆料，在水醇体系中，以硅酸四乙酯(TEOS)作为硅源，氨水作为催化剂，金属盐作为形貌、粒径控制剂，水解、成核、生长制备得到双粒径非球形二氧化硅。本发明提供的碱性双粒径非球形二氧化硅化学机械抛光浆料在抛光过程中大小粒径的磨料粒子能够协同作用（大粒径磨料填充抛光垫中大的微孔或沟槽，小粒径磨料填充抛光垫中小的微孔或沟槽），进而优化抛光液在抛光垫表面的抛光液流动和分布，同时提高抛光效率，降低抛光表面的微粗糙度，减小损伤层厚度，提供了一种潜在的技
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112390262 A
(43)申请公布日 2021.02.23
(21)申请号 202011524358.6
(22)申请日 2020.12.22
(71)申请人 郑州中科新兴产业技术研究院
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