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一种硅片清洗方法，包括：将硅片依次插入齿杆上相邻两夹紧齿之间，以使硅片支撑在各支撑杆上；将安装好硅片后的花篮主体放至清洗池的池底；推动端板沿滑轨向推块滑动至三个支撑杆分别与推动面接触后，打开喷淋；继续推动端板使得推块推动支撑杆沿滑动槽由高处滑动至低处，并压缩撑开弹簧，以使硅片向支撑杆跌落并露出硅片与夹紧齿夹紧的区域，进行清洗，从而提高了整个硅片的清洗效果；在清洗完成后，推块松开支撑杆，支撑杆在撑开弹簧的回弹力作用下推动硅片插回至两夹紧齿之间，并通过回弹力保证各硅片排列整齐。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112387647 B
(45)授权公告日 2021.05.18
(21)申请号 202110072089.2 B08B 3/02 (2006.01)
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