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一种面发射激光器及其制备方法.pdfVIP

一种面发射激光器及其制备方法.pdf

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    本公开提供了一种面发射激光器，其特征在于，包括：衬底；多层结构，设置在衬底上，其包括多个低折射率材料层、多个高折射率材料层及有源层，多个低折射率材料层及多个高折射率材料层交替生长形成周期性或准周期性的布拉格反射镜结构，有源层位于最后生长的一层低折射率材料层上；其中，周期性的布拉格反射镜结构中多个低折射率材料层及多个高折射率材料层的厚度分别相等，准周期性的布拉格反射镜结构中至少有一层材料层的厚度与其他同折射率材料层的厚度不等；光子晶体层，其设置在多层结构上。本公开还提供了一种面发射激光器的制备方法

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112397998 B (45)授权公告日 2022.04.01 (21)申请号 202011275473.4 (56)对比文件

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