一种石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置.pdfVIP

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2023-05-29 发布于四川
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一种石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置.pdf

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本发明公开了一种石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置，包括生长箱，生长箱的一侧侧壁固定连通有匀流筒，匀流筒的内部设置有匀流机构，匀流筒的上端侧壁设置有观测机构，匀流筒的内部设置有第一转向机构和第二转向机构，匀流筒的上端侧壁固定连通有进气管，本发明通过设置的电机带动驱动轴转动，驱动轴带动第一圆板正向转动，第一圆板带动第一锥齿轮转动，第一锥齿轮通过第二锥齿轮带动第三锥齿轮转动，第三锥齿轮带动第二圆板反向转动，使气体在进入匀流筒内部后通过交错转动的第一圆板、第二圆板和第三圆板表面的通孔使流过的气体均匀分散

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112391604 A (43)申请公布日 2021.02.23 (21)申请号 202011275854.2 (22)申请日 2020.11.16 (71)申请人余骋怀地址 325

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