X射线校准标准对象.pdfVIP

X射线校准标准对象.pdf

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一种用于通过测量由将电子射束扫描到参考对象上所生成的X射线信号而在增量制造装置中校准扫描电子射束的X射线标准参考对象，所述参考对象包括：基本上平行并且彼此间隔开地附着的下部和上部板，所述上部板包括多个孔，其中在孔内提供预定的中空图案。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112388141 B (45)授权公告日 2022.07.29 (21)申请号 202010935088.1 (51)Int.Cl.

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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