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提供了用于从氮化钛表面去除氧化物的系统和工艺。在一个示例实施中，方法包括将工件放置在处理腔室中的工件支撑件上。工件可具有氮化钛层。方法可包括对氮化钛层进行基于等离子体的氧化物去除工艺。基于等离子体的氧化物去除工艺可包括：使用等离子体源在工艺气体中通过诱导等离子体生成一种或多种物质；和将工件暴露于等离子体中生成的物质。工艺气体可包括第一气体和第二气体的混合物。第一气体可包括含氢气体和含氮气体的一种或多种。第二气体可包括含氟气体。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112424925 A
(43)申请公布日 2021.02.26
(21)申请号 201980044910.0 (74)专利代理机构 北京市铸成律师事务所
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