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本申请提出了一种清洗方法，包括：采用第一清洗液对基材进行清洗，第一清洗液包括水，碱性物质，助溶剂和第一表面活性剂；采用第二清洗液对基材进行清洗，第二清洗液包括水，酸性物质，螯合剂和第二表面活性剂。本申请还提出了一种清洗设备，包括第一清洗装置；第二清洗装置；和用于输送基材至第一清洗装置及第二清洗装置的运送装置；第一清洗装置采用第一清洗液清洗基材，第二清洗装置采用第二清洗液清洗基材。本申请还提出了一种基材，经清洗基材的表面含有油污的面积小于1mm2。本申请还提出了一种基材，经清洗基材的表面含有金属离
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112410797 A
(43)申请公布日
2021.02.26
(21)申请号 20191
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