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本发明公开了一种电吸收调制激光器，该激光器由下往上依次包括衬底层、有源层和p型欧姆接触层，该激光器一端的衬底层下方设有n电极层，p型欧姆接触层上方设有p电极层；该激光器的另一端的端面两个对角侧设有呈中心对称的左侧行波电极和右侧行波电极，左侧行波电极包括平行于pn结方向的部分和位于衬底层下方的部分；右侧行波电极包括平行于pn结方向的部分和位于p型欧姆接触层上方的部分；左、右侧行波电极中平行于pn结方向的部分与激光器之间均设有绝缘层。本发明通过行波电极的设计能有效地提高EML的调制速率和调制深度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112382923 B
(45)授权公告日 2021.03.23
(21)申请号 202110030225.1 (56)对比文件
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