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一种用于衬底材料最优划片方向的微调吸盘装置，包括吸盘底座、设于吸盘底座上的U型滑台装置以及控制U型滑台装置倾斜角度的滑台微调系统，滑台微调系统与U型滑台装置通过齿轮啮合定位，U型滑台装置上方还固设有用于吸附的微孔陶瓷；U型滑台装置包括U型滑台上部和U型滑台下部，且U型滑台上部和U型滑台下部通过对应布设的槽结构滑动配合，并通过配设在U型滑台上部的滑台紧固件锁紧固定。该用于衬底材料最优划片方向的微调吸盘装置，通过U型滑台装置和控制U型滑台装置倾斜角度的滑台微调系统的布设，可以实现调节衬底的倾斜角度，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112420582 A
(43)申请公布日 2021.02.26
(21)申请号 202011353653.X
(22)申请日 2020.11.27
(71)申请人 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
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