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本发明公开了一种光感应阵列基板及其制备方法、显示器。本发明在用于制备传感器薄膜晶体管和开关薄膜晶体管的区域处通过制备不同厚度的光刻胶图案,并蚀刻使得传感器薄膜晶体管具有二硫化钼层,开关薄膜晶体管无二硫化钼层。本发明既能提高传感器薄膜晶体管的光吸收,又能保证开关薄膜晶体管不受影响,能够同时满足传感器薄膜晶体管高效光吸收及开关薄膜晶体管较低光吸收的要求。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112420760 B
(45)授权公告日 2023.04.07
(21)申请号 202011253618.0 G02F 1/1362 (2006.01)
(22)申请日 2020.1
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