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本发明公开了高压实验制样表征一体化组合方法,属于高压实验研究技术领域,解决了现有技术中高压实验过程中样品制样困难,样品的尺寸、形貌、位置无法准确控制导致实验的重复性很差,样品进行电学性质测试时样品与电极之间接触不良的难题。一体化组合方法,采用磁控溅射镀膜制备样品和内电极。包括:在金属封垫上预压一个凹痕;在凹痕的中心位置打第一小孔,之后将绝缘材料填充到第一小孔及其周边,形成一层覆盖整个压痕的薄层;在薄层中间打第二小孔,作为放置样品的高压腔;将高压腔用传压介质填满后,在中心位置去掉部分传压介质,为样
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112414807 B
(45)授权公告日 2022.04.08
(21)申请号 202011155247.2 G01N 19/00 (2006.01)
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