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一种半导体激光器.pdfVIP

一种半导体激光器.pdf

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    本发明公开了一种半导体激光器，包括半导体PN结和设于半导体PN结且沿同列分布的表面有源布拉格反射光栅、脊形波导列阵、多模干涉波导和超对称列阵波导；表面有源布拉格反射光栅设于脊形波导列阵的一端，多模干涉波导的一端紧邻脊形波导列阵的另一端，超对称列阵波导紧邻多模干涉波导的另一端。该半导体激光器利用表面有源布拉格光栅提供波长可调谐的单频激光，利用脊形波导列阵进行增益放大，利用多模干涉波导进行相干耦合，最后利用超对称列阵波导进行二次横向模式选择和增益，实现高功率、窄线宽、波长可调谐的高光束质量激光。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112421378 B (45)授权公告日 2022.02.08 (21)申请号 202011296809.5 (51)Int.Cl.

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