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本发明公开一种摆式加速度计，其表芯包括硅摆片(1)、力矩器、光学位移传感器和电磁阻尼器，其中力矩器包括磁钢(3)、导磁帽(4)和力矩器线圈(5)，力矩器线圈(5)固定在硅摆片(1)下表面上，位于导磁帽(4)、磁钢(3)与底座(2)之间的环状间隙中，光学位移传感器的可动光窗(10)固定在摆片(1)，并介于光源(12)和光电接收器(11)之间，电磁阻尼器包括阻尼器磁钢(7)、阻尼器导磁帽(8)和阻尼器线圈(6)，阻尼器线圈(6)固定在硅摆片(1)上表面上，并位于阻尼器磁钢(7)、阻尼器导磁帽(8)与
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112394197 A
(43)申请公布日 2021.02.23
(21)申请号 202011230890.7
(22)申请日 2020.11.06
(71)申请人 中国航空工业集团公司西安飞行自
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