一种磁控溅射法制备五元高熵合金尖晶石涂层的方法.pdfVIP

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2023-05-30 发布于四川
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一种磁控溅射法制备五元高熵合金尖晶石涂层的方法.pdf

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本发明公开了一种SOFC连接体的Fe‑Co‑Ni‑Mn‑Cu五元高熵合金尖晶石涂层的制作方法。其组成成分为Fe‑Co‑Ni‑Mn‑Cu五元高熵合金涂层。制备方法步骤包括:1）基体预处理；2）溅射沉积获得合金涂层；3）热转化，获得尖晶石涂层。该方法具有溅射速率稳定，沉积速率快,操作工艺简单等众多特点；所制备的高熵合金涂层结构致密，并且和基体的结合力良好；热转化形成的尖晶石混乱度较大能够有效阻碍基体中的Cr向外扩散，并且在长期高温氧化作用下具有优良的导电性能；在高熵合金领域，为SOFC连接体涂层材料

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112458416 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 202011297054.0 (22)申请日 2020.11.18 (71)申请人东北大学地址 11

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