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2023-05-30 发布于四川
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基于GCIB的衬底边缘轮廓校正的方法.pdf

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一种GCIB的衬底边缘轮廓校正的方法，提供一种工件，所述工件具有表现出在边缘区域和内部区域之间的空间变化的表面属性；通过第一GCIB沿旋转路径执行工件的第一扫描运动，该旋转路径将工件的外围边缘区域暴露给第一GCIB，并减少该外围边缘区域与内部区域之间的表面属性的空间变化；通过第二GCIB沿将工件的外围边缘区域和内部区域暴露给第二GCIB的非圆路径对工件进行第二次扫描运动；其中表面属性包含一个膜厚度、表面轮廓，表面粗糙度，表面组成、一层组成，工件的机械性能，工件的电性质，或工件的光学属性，或任何组

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112466739 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 202011351593.8 (22)申请日 2020.11.26 (71)申请人江苏集创原子团簇科技研究院有限

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