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用于潮湿水环境中的载荷传感器元件.pdfVIP

用于潮湿水环境中的载荷传感器元件.pdf

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    本发明公开了一种用于潮湿水环境中的载荷传感器元件，包括基底、设于基底上表面上的过渡缓冲层、设于过渡缓冲层上表面上的绝缘层、设于绝缘层上表面上的功能层、设于功能层上表面上的防护层；基底采用316L不锈钢材料制成，过渡缓冲层为CrNi膜，绝缘层为TiO2膜，功能层为FeCrMn合金膜，防护层为Al2O3膜。本发明在潮湿水环境中，载荷传感器元件可以牢固地固定于试样上，相互之间连接呈无机质化，因而消除了零点漂移和蠕变，实现了温度自补偿，从而提高了载荷传感器元件的灵敏度和测量结果的准确性的特点。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112432720 B (45)授权公告日 2022.08.05 (21)申请号 202011237588.4 C22C 38/38 (2006.01)

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