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智能激光清洗工作头，涉及一种清洗工作头。本发明解决了现有激光清洗装置对清洗激光实际输出功率及光斑尺寸不能实时调控的问题。本发明的分光镜模块按固定分光比将准直光束分为反射主光束和透射采样光束，反射主光束进入扫描振镜模块与F‑θ场镜模块聚焦在清洗工件上，透射采样光束进入激光功率监控模块。激光功率监控模块实时监测分光镜透射采样光束功率，控制器模块处理激光功率监控模块采集的功率信息结合分光镜分光比得到聚焦在清洗工件上的清洗激光功率。高度监控模块实时测量F‑θ场镜模块与清洗工件之间距离，控制器模块通过聚焦
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112452953 B
(45)授权公告日 2023.04.11
(21)申请号 202011299887.0 (56)对比文件
(22)申请日 2020.11.19
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