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本发明公开了一种高韧性低电阻氮化硅陶瓷及其制备方法,其中的制备方法包括:将氮化硅粉、有机钛源、无机钛源,金属钛粉置于高速搅拌机内搅拌,获得低粘度浆料;添加有机增稠剂,继续搅拌,制得高粘度浆料;将高粘度浆料置于模具内烘烤以获得具有一定体积密度的料坯;将料坯转移至热等静压烧结炉内,在氨气气氛下进行初步反应;初步反应结束后,将热等静压烧结炉内气氛切换为氮气气氛下进行热等静压烧结;烧结结束后,降温至室温,即获得所述高韧性低电阻氮化硅陶瓷。本发明能够显著提高氮化硅陶瓷的韧性,同时降低其电阻,拓展其应用领域
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112479721 B
(45)授权公告日 2022.07.15
(21)申请号 202011188849.8 (56)对比文件
(22)申请日 2020.10.30
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