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本发明公开了一种表面增强拉曼散射衬底的制备方法,包括:在SiO2/Si(001)衬底上制备密排单层纳米微球二维胶体晶体层;减小纳米微球的直径;在样品表面沉积一层金属薄膜;剥离微球二维胶体晶体层;采用干法刻蚀SiO2层;采用湿法刻蚀Si(001)衬底,形成倒金字塔结构;使用腐蚀溶液剥离SiO2和金属掩模层,得到带倒金字塔结构的Si模板;在Si模板上制备贵金属薄膜;使用胶黏剂将贵金属薄膜转移到新衬底上,金字塔结构外露;在贵金属金字塔表面转移一层石墨烯。本发明的方法使用了胶体光刻和微纳加工两种方法,成
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112499581 A
(43)申请公布日 2021.03.16
(21)申请号 202011266405.1
(22)申请日 2020.11.12
(71)申请人 西安交通大学
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