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本申请实施例提供了一种立式热处理设备。该立式热处理设备用于对待加工工件进行热处理工艺，包括：机箱、工艺腔室、加热腔室及检测组件，检测组件包括发射传感器，发射传感器设置于加热腔室的顶部，机箱内部的底面上相对发射传感器设置有第一反射部；工艺腔室的顶部具有透光部及第一遮光部，透光部位于发射传感器发射的光束的路径上，第一遮光部环绕透光部设置；通过判断发射传感器是否能接收到第一反射部反射的光束，用以检测工艺腔室是否与加热腔室同心设置。本申请实施例实现了对工艺腔室及加热腔室的同心度检测，并且避免现有技术中由
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112490147 A
(43)申请公布日 2021.03.12
(21)申请号 202011247176.9
(22)申请日 2020.11.10
(71)申请人 北京北方华创微电子装备有限公司
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