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2023-05-31 发布于四川
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一种内置真空传感器的便携式仪器分子泵.pdf

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本发明提供了一种内置真空传感器的便携式仪器分子泵，包括涡轮分子泵、压力传感器、感应发电装置以及无线传输模块，压力传感器设置有多个，多个压力传感器设置在涡轮分子泵的腔室内侧；所述感应发电装置依靠涡轮分子泵内部的叶片转动的能量感应发电，感应发电装置为所述压力传感器供能；无线传输模块将压力传感器测定的数据传输至质谱仪控制主机。本发明可为便携式质谱仪提供所需的高真空度，支持质谱仪正常工作；实时监控质谱仪内部真空度数值，配合软件保证内部关键部件不会因真空度不足而故障损坏；本发明能实现自我供能；通过无线信号

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112483433 B (45)授权公告日 2022.07.05 (21)申请号 202011255030.9 H01J 49/24 (2006.01) (22)申请日 2020.11

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