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本发明提供一种无需等待被处理基板完全除电,被处理基板不会发生位置偏移和弹起,而可将处理后的被处理基板移动到基板传递位置的基板升降装置及基板运输方法。本发明的基板升降装置(LM),其安装在具有静电卡盘(EC)的工作台(ST)上并用于对该工作台进行被处理基板的传递,所述静电卡盘上表面吸附被处理基板(W);所述基板升降装置具有在没入位置和突出位置之间上下自由移动的升降销(5)和使升降销上下移动的驱动装置(9),所述没入位置是没入工作台内的位置,所述突出位置是从工作台上表面向上方突出的位置;驱动装置在使
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112514047 A
(43)申请公布日 2021.03.16
(21)申请号 201980049800.3 (74)专利代理机构 北京英特普罗知识产权代理
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