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本发明涉及一种用于离子源的控温模块、控温系统及离子源装置。所述控温模块包括:一级冷却通道,用于对控温模块本体通过低温冷却气体降温;二级冷却通道,其穿过所述控温模块内部,用于流经二级冷却气体;控温模块本体,用于对离子源输送所述二级冷却气体。本发明采用的两级控温方案,使得二级冷区气体的入口处可为常温气体,与控温模块热交换时,即使在较高压力下,仍能保持很高的气流稳定性,从而可实现较高精度的控温稳定性。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112509905 B
(45)授权公告日 2022.06.21
(21)申请号 202011291927.7 审查员 杨斌
(22)申请日 2020.11.18
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