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本发明公开了一种柔性电容式压力传感器及其制备方法,包括以下步骤:S10,选择传感器材料;S20,制备柔性基底;S30,对电极层或者介电层进行结构化处理,包括对上电极层的表面加入棱锥体微结构;S40,制备上下电极层;S50,将电极导线穿入电极薄膜中;S60,将制备的上电极层和下电极层交叉贴合放置,使二者上设置的电极阵列相互垂直,上电极层和下电极层之间设置介电层,在80摄氏度烘箱中放置2小时进行固化,取下即制得的三明治结构的柔性电容式压力传感器。本发明能够有效提升压力传感器的测压灵敏度性能,制备工艺
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112504518 A
(43)申请公布日 2021.03.16
(21)申请号 202011026068.9
(22)申请日 2020.09.25
(71)申请人 杭州电子科技大学
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