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2023-05-31 发布于四川
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一种基于膜结构的石墨烯高温压力传感器.pdf

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本发明属于高温压力测试技术领域，具体涉及一种基于膜结构的石墨烯高温压力传感器，包括封装外壳、上端盖、陶瓷基座、检测基片和互连组件，所述封装外壳的顶部设置有上端盖，所述封装外壳的内部设置有陶瓷基座，所述陶瓷基座中部开设有方形安装槽，所述检测基片设置在陶瓷基座的方形安装槽内，所述互连组件的一端与检测基片连接，所述互连组件的另一端与外部设备进行连接，从而将压力信号传递出来。本发明利用二维材料石墨烯纳米膜作为测压元件，极大提高了压力传感器的响应速度；同时本发明极大提高了传感器的高温耐受性、气密性和可靠性

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112484889 A (43)申请公布日 2021.03.12 (21)申请号 202011512612.0 (22)申请日 2020.12.20 (71)申请人中北大学南通智能光机电研究院

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