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本发明涉及一种装置的应用,所述装置具有布置在反应器壳体(1)中的基座组件(3),该基座组件具有至少一个朝向过程室(2)的、具有凹槽(17)的宽侧平面(15)和置入至少一个凹槽(17)中的用于承载和搬运衬底(10)的承载元件(20),其中,该承载元件(20)的平行于所述宽侧平面(15)延伸的上侧(26)与凹空(11)的界面邻接,所述衬底(10)被布置在该凹空中,其中,所述界面的在内柱体侧面上延伸的区段(24)以形成倒圆的边缘(25)或斜面(25)的方式过渡至所述承载元件(20)的上侧(26)
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112513317 A
(43)申请公布日 2021.03.16
(21)申请号 201980050051.6 (74)专利代理机构 北京市柳沈律师事务所
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