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本发明提出了一种工件旋转装置，包括机架、驱动装置、公转旋转部和自转旋转部，驱动装置固定设置于机架上，自转旋转部包括传动轮、多个从动轮和多个工件夹具，多个工件夹具分别固定于多个从动轮上，多个从动轮分别与传动轮传动配合，驱动装置与公转旋转部连接，自转旋转部固定于公转旋转部上，且自转旋转部和公转旋转部之间设置有两对中心轴相互垂直且两两啮合的锥齿轮，其中输入锥齿轮设置于公转旋转部的中心，与其相对的输出锥齿轮与传动轮连接，另一对行星锥齿轮设置于公转旋转部的支架上。并将其应用至离子束物理气相沉积装置中，在提
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112481596 B
(45)授权公告日 2022.01.14
(21)申请号 202011359572.0 审查员 刘莉
(22)申请日 2020.11.27
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