- 1、本文档共13页,其中可免费阅读12页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
使用HiPIMSPVD工艺形成膜层的方法包括以下步骤:在工艺腔室的处理区域中向基板提供偏压,基板包含表面特征且工艺腔室的处理区域包括溅射靶;将至少一个能量脉冲输送到溅射靶,以在处理区域中产生溅射气体的溅射等离子体,所述至少一个能量脉冲在小于5kHz且大于100Hz的频率下具有在约600伏特与约1500伏特之间的平均电压和在约50安培与约1000安培之间的平均电流;和朝向溅射靶引导溅射等离子体,以形成离子化的物种,所述物种包含从溅射靶溅射的材料,所述离子化的物种在基板的特征中形成具有改善的底部覆
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112513316 A
(43)申请公布日 2021.03.16
(21)申请号 201980051367.7 乔斯林甘 ·罗摩林甘
您可能关注的文档
最近下载
- 东兴市三期100MW光伏发电项目.docx VIP
- 江苏大学2021-2022学年第1学期《马克思主义政治经济学原理》期末考试试卷(附标准答案).docx
- 美国水产品生产企业在华注册名单 (2015年6月4日更新).pdf
- 江苏大学 护理综合 2017-2019年考研专业课历年真题.pdf VIP
- 2024-2025学年人教版九年级英语全册单词(配例句).pdf VIP
- 《电动吸引器吸痰技术操作考核评分标准》.docx VIP
- 震动排痰操作技术评分标准.docx VIP
- 大学生职业规划大赛《城市地下空间工程专业》生涯发展展示PPT.pptx
- 100WM光伏发电项目施工组织设计.doc
- 2018年江苏大学111-单独考试思想政治理论考研真题(样题).pdf
文档评论(0)