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一种基于双光纤点衍射干涉的六自由度绝对位移测量装置.pdfVIP

一种基于双光纤点衍射干涉的六自由度绝对位移测量装置.pdf

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    本发明公开了一种基于双光纤点衍射干涉的六自由度绝对位移测量装置，运用于测量技术领域。所述的测量装置包括：计算机、偏振相机、单纵模激光器、光纤、光纤耦合器、透镜组，所述的偏振相机可以实现一帧图像同时获取4个偏振方向对应4个通道干涉信息；所述的单纵模激光器能产生高亮度和高峰值功率的激光；所述的光纤耦合器能够将激光耦合进光纤中。本发明对用于面形检测的传统点衍射干涉光路进行改进，将其运用到六自由度绝对位移测量领域，摆脱了导轨的限制，为物体绝对位移测量提供了一种高精度、低成本、多维度的瞬态测量方法。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112504130 A (43)申请公布日 2021.03.16 (21)申请号 202011235738.8 (22)申请日 2020.11.09 (71)申请人 中国计量大学 地址

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