一种集成电路加工用利用气流清理杂质的毛刺去除组件.pdfVIP

一种集成电路加工用利用气流清理杂质的毛刺去除组件.pdf

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本发明涉及集成电路制造技术领域,且公开了一种集成电路加工用利用气流清理杂质的毛刺去除组件,包括外箱体和传动杆,所述外箱体的内部活动连接有传动杆,所述传动杆的顶端固定连接有上传动齿,所述传动杆的底端固定连接有下传动齿,所述下传动齿的外侧壁啮合有减速齿。进行打磨时,旋转轴外侧的传动齿带动上传动齿旋转,使上传动齿通过传动杆带动下传动齿旋转,由于下传动齿与减速齿啮合,使减速齿被下传动齿带动,使减速齿将旋转速度减缓,同时减速齿带动传动齿盘上的夹持环旋转,使夹持环上被夹持的集成电路板跟随转动,使集成电路板可

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112476104 A (43)申请公布日 2021.03.12 (21)申请号 202011219148.6 (22)申请日 2020.11.04 (71)申请人 杭州晗沂科技有限公司

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