有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档共7页，其中可免费阅读6页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种基于聚偏氟乙烯的柔性湿度传感器的制作方法，属于柔性传感器技术领域，包括以下步骤：(1)清洗硬质基底；(2)光刻成形；(3)沉积牺牲层和金属层并去除光刻胶；(4)高温退火；(5)制作柔性湿敏材料；(6)刻蚀牺牲层，即可得到柔性湿度传感器。本发明制得的柔性湿度传感器兼具柔性和强度，先在刚性基片上制作金属叉指电极，从而进行高温退火，有助于改善金属叉指电极的硬度，降低残余应力，解决柔性传感器普遍的迟滞较大的难题，同时使金属结构更加稳定，消除组织缺陷，从而提高柔性湿度传感器的整体性能。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112485298 A
(43)申请公布日 2021.03.12
(21)申请号 202011232049.1
(22)申请日 2020.11.06
(71)申请人 电子科技大学
地址
文档评论（0）