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一种基于轴锥透镜的激光微孔加工系统和方法.pdf

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本发明公开了一种基于轴锥透镜的激光微孔加工系统和方法,所述系统包括发射激光光束的激光器,在激光器的输出端以预设角度设置有二维光束偏转装置,二维光束偏转装置能够进行转动以使入射的激光光束发生微小偏折;在二维光束偏转装置的反射方向依次同轴设置有第一轴锥透镜、第二轴锥透镜和聚焦透镜,第一轴锥透镜和第二轴锥透镜顶角相背且间距可调,聚焦透镜正对于加工平台。该激光微孔加工系统利用轴锥透镜的旋转对称特性,在加工过程中无需光学元件的机械转动,增加了系统的机械稳定性,提高了微孔加工精度。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112475638 B (45)授权公告日 2022.07.12 (21)申请号 202011103526.4 B23K 26/70 (2014.01) (22)申请日 2020.10

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